张掖液氧配送厂家-嘉峪关市众鑫乙炔气厂
液氧性质
常温常压下为无色、无臭气体。氧不可燃,但助燃。d0(气体)1. 429g/L; d-183(液体)1.14g/rnL;熔点-218.4℃;沸点- 182. 96℃,临界温度一118. 95℃;临界压力50. 14atm;汽化热50. 9cal/g (-183℃)(lcal=4.2J)。在常压下冷至-182.9℃时即为天蓝色透明液体。
液氧制法
以空气分离装置制得的氧为原料,经两级精馏后得99.5%以上的氧,再进入高纯氧塔,经过两次低温精馏后得99. 995%以上的高纯氧。
液氧用途
高纯氧气体主要用于半导体器件的热氧化、扩散、化学气相沉积及等离子蚀刻等工艺,还可用于光导纤维、彩色显像管制造并作标准气、校正气和零点气等。作为氧化源与产生高纯水的反应剂。对于MOS场效应器件,氧化层相当致密,采用高纯氧气进行干法氧化,其氧化层结构致密,正电荷少,耐压高,能满足生产需要。与四氟化碳混合,可用于等离子刻蚀。
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嘉峪关市众鑫乙炔气厂
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